多晶硅生產(chǎn)中需要什么樣的魚粉廠廢氣凈化設(shè)備

 

 

 

 

在多晶硅生產(chǎn)中，會(huì)產(chǎn)生廢氣和殘液。目前，我***的魚粉廠廢氣凈化設(shè)備已較為先進(jìn)，以往的處理技術(shù)已提高到更高的水平。

 

 

 

多晶硅是太陽(yáng)能和微電子工業(yè)的關(guān)鍵原料。隨著我***太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)多晶硅的需求日益增加。目前，多晶硅技術(shù)十分活躍。主要有西門子法、冶金法、等離子體法、硅烷法、流化床法、熔鹽電解法、無(wú)氯技術(shù)等。西門子法通過氣相沉積法制備柱狀多晶硅。為提高原料利用率，采用閉環(huán)生產(chǎn)工藝。改進(jìn)后的西門子工藝生產(chǎn)的多晶硅約占世界多晶硅產(chǎn)能的80%。

 

 

***內(nèi)外對(duì)西門子法制備高純多晶硅的研究較多。

 

例如，張宇等人通過催化化學(xué)氣相沉積法制備了多晶硅薄膜。采用m. m. dahl等對(duì)流化床中多晶硅的微觀結(jié)構(gòu)和顆粒生長(zhǎng)進(jìn)行了研究。此外，多晶硅的生產(chǎn)工藝包括碳熱還原法、區(qū)域熔融法等。碳熱還原法是利用高純碳還原硅生產(chǎn)多晶硅，區(qū)域熔融法是利用金屬定向凝固原理將金屬級(jí)硅提純到太陽(yáng)能級(jí)硅。

 

 

廢氣及殘液處理

在多晶硅的制備過程中，產(chǎn)生了***量的廢氣和廢液。***內(nèi)***部分裝置通常先用水水解，然后用氫氧化鈉中和廢氣處理和殘液處理。

 

 

 

 

 

廢氣凈化

氯硅烷分離純化過程中蒸餾塔排放的廢氣含有氯硅烷、氮、硅烷、氫、氮、氯、氯化氫的多晶硅還原爐更換清洗氣體和多晶硅還原爐排放瓦斯事故,被送到廢氣洗滌器組,()在鹽酸溶液洗滌水、廢氣的氯硅烷與水反應(yīng)和刪除:

SiHCl3 + 2h2o = SiO2 + 3hcl + H2

SiCl4 HCL + 2 h2o = SiO2 + 4

SiH2Cl2 + 2h2o = SiO2 + 2hcl + H2

廢氣處理塔***部含氮、氫的廢氣經(jīng)液封罐排出，廢氣處理塔底部含SiO2固體的鹽酸溶液泵入工藝廢水處理過程。[有機(jī)廢氣處理]